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V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++îbï €ùÙ Ú% „ð|Pððð( ð€ÿÿ€ÿÿ ððl ð  ð`€$9z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ðÄŸ Ion Pump¡ Od] þª  ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðb ð  ð`€„9z�‚°mƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðZ=�¡ðà  ðºŸ Also known as a  sputter ion pump Ionizes and captures gas via high electric potentials Several different breeds, with common components.¡Ò#ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ6ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ2ÿplð-þ]�ÿ#þþ6þþ2þªF#  6  2 ¦^ Vv–¶Öö6 V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++îvï €ùÙ Ú% ˜ð�`ðð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ððr ð  ð`€ä9z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ðÊŸ Penning Trap¡ Od] þª  ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðp² ð à ðH€€…‡A€¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðíM ðN ð “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++î8ï €ùÙ Ú% ZðRpððäð( ð€ÿÿ€ÿÿ ðð€ ð  ð`€D:z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ðØŸ &Standard Diode Pump¡Od]þª ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðp² ð à ðH€€…‡A€¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðc  € ð¬ ð  ð`€¤:z�‚°mƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðZ­ ‘¡ðà  ðŸ ÒContains one anode cathode set. Common cathode material is Ti. Efficiency/speed based on several factors.¡~ ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ+ÿplð-þ]�ÿ þþ+þª*   + ¦^ Vv–¶Öö6 V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++î`ï €ùÙ Ú% ‚ðz€ð ð ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð ð” ð  ð`€;z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ð쟠  Pumping Action ¡*Od]þþª  ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ð8 ð  ð`€d;z�‚°mƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðZ=�¡ðà  ð�Ÿ ÔSputtered Ti atoms act as getters. Chemisorption and physisorption. Net decrease in targeted particles.¡Þ#ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ"ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ$ÿplð-þ]�ÿ#þþþ!þþ$þªT#   !  $ ¦^ Vv–¶Öö6 V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++îhï €ùÙ Ú% Šð‚�ð$ðð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð$ðp ð$  ð`€Ä;z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ðÈŸ Triode Pump¡ Od] þª  ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðì ð$  ð`€$?@ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\]^_`abcdefghijklmnopqrstuvwxyz{|}~�ortional to pressure. Industry standard at 40k hours at 1.3X10^-6 mbar¡Ôÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ-ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ1ÿplð-þ]�ÿþþ-þþ1þªF  -  1 ¦^ Vv–¶Öö6 V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð, “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++î–ï € ùÙ Ú% ¸ð°Àð0ðBð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð0ðx ð0  ð`€>z�‚à—ƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ð¾=�Ùðà   ðП Main Advantages¡Od]þª ¦Z @`€ Àà @ ` €  Àà @`€ðŠ ð0  ð`€d>z�‚°mƒ„…‡¿¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðZ=�¡ðà  ð⟠No moving parts.(In contrast to turbo molecular pumps, and diffusion pumps) No vibrations. Little maintenance, no  regeneration ¡üLÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿ&ÿplð-þ]�ÿÿplð-þ]�ÿLþþþþ&þþªTL    &  ¦^ Vv–¶Öö6 V v – ¶ Öö6Vv–¶CðN ð0 “ ð6€�ÿÿÿƒ†A“qÑ™”ûYsÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ˆZŠRº___PPT10‹2ë.ù]Ä0Gá+Dñ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @Bñ DñÁ'ñ ÿÿÿÿ=ñ @BñAñ?%ñ,(ñ <ñ +O%ñ,(ñ <ñ ++ðæñÙ Ú5 ’ðŠÐð4ð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð4ðX¢ ð4 C ð…‡Ö?ðá`À) ðà  ðŠ¢ ð4 “ ð6…‡¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðÁ ê7äðà   ð ŸðH ð4 ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðæñÙ Ú5 ’ðŠàð8ð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð8ðX¢ ð8 C ð…‡Ö?ðá`À) ðà  ðŠ¢ ð8 “ ð6…‡¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðÁ ê7äðà   ð ŸðH ð8 ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðæñÙ Ú5 ’ðŠðð<ð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð<ðX¢ ð< C ð…‡Ö?ðá`À) ðà  ðŠ¢ ð< “ ð6…‡¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðÁ ê7äðà   ð ŸðH ð< ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðæñÙ Ú5 ’ðŠð@ð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ð@ðX¢ ð@ C ð…‡Ö?ðá`À) ðà  ðŠ¢ ð@ “ ð6…‡¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðÁ ê7äðà   ð ŸðH ð@ ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðæñÙ Ú5 ’ðŠðDð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ðDðX¢ ðD C ð…‡Ö?ðá`À) ðà  ðŠ¢ ðD “ ð6…‡¿À€€€ÂÖ×ÿ ?ðÁ ê7äðà   ð ŸðH ðD ƒ ð0�ÿÿÿƒ“ŽŸ‹”Þ½h¿ÿ ?ð ÿÿÿ€€€Ì™33ÌÌÌÿ²²²ðæñÙ Ú5 ’ðŠ ðHð"ð( ð€ÿÿ€ÿÿ ðHðX¢ ðH C ð…‡Ö?ðá`À) 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